अति उच्च शुद्धता गैस शोधक/शुद्धिकरण प्रणाली/जनरेटर

अनुप्रयोग क्षेत्र: इलेक्ट्रॉनिक अर्धचालक, बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट, एमएएमएस, मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन और सिलिकॉन एपिटैक्सी, एलईडी, टीएफटी, गैलियम नाइट्राइड, सिलिकॉन कार्बाइड, वैज्ञानिक अनुसंधान और विकास, प्रयोगात्मक विश्लेषण, आदि।

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विशेषताएँ

● दो टावरों वैकल्पिक सोखना उत्थान, स्वचालित निरंतर संचालन।
● ईपी क्लास 316एल पॉलिश स्टेनलेस स्टील पाइप फिटिंग।
● 0.003 मीटर फिल्टर के साथ 99.9999999% तक निष्कासन दर।
● सीमेंस पीएलसी को डीसीएस सिस्टम से जोड़ा जा सकता है।
● सुरक्षा अलार्म फ़ंक्शन उत्तम है।
● रिमोट क्लाउड सेवा उपलब्ध है।
● अति स्वच्छ वातावरण में उत्पादन और संयोजन।
● गैस क्षमता 10-20000nm3 /h.

तालिका पैरामीटर

श्रृंखला मॉडल

गैस के लिए

कच्ची गैस सूचकांक

उत्पाद गैस सूचकांक

एन2

एच2

हे2

साथ

वह

एच2O

सीओ2

सीओ

चौधरी4

एच2

एन2

पठन स्तर

9वीवी

●

5एन

≤0.1पीपीबी

—

≤0.1पीपीबी

—

0.003मीएम

9ओवीवी

●

—

●

5एन

≤0.1पीपीबी

—

0.003मीएम

9वीवीएक्स

—

●

5एन

≤0.1पीपीबी

0.003मीएम

—

●

—

≤0.1पीपीबी

—

≤0.1पीपीबी

0.003मीएम

9एक्स

—

●

5एन

≤0.1पीपीबी

0.003मीएम

—

●

—

≤0.1पीपीबी

—

≤0.1पीपीबी

0.003मीएम

नोट: सामान्य प्रवाह विनिर्देश:1-20000एनएम3/एच;सामान्यतः प्रयुक्त दबाव:1-20एमपीए

उत्पाद टैग:

गैस शोधक गैस शुद्धिकरण प्रणाली गैस जनरेटर अति उच्च शुद्धता वाला गैस शोधक

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