नमी हटाने के लिए गैस शोधक और अर्धचालक निर्माण के लिए उपयोग किया जाता है
इलेक्ट्रॉनिक अर्धचालक, बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट, एमएएमएस, मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन और सिलिकॉन एपिटैक्सी, एलईडी, टीएफटी, गैलियम नाइट्राइड, सिलिकॉन कार्बाइड, वैज्ञानिक अनुसंधान और विकास, प्रयोगात्मक विश्लेषण आदि के लिए उपयुक्त।
विशेषताएँ
● नाइट्रोजन, हाइड्रोजन, ऑक्सीजन, आर्गन, हीलियम और अमोनिया के लिए उपयुक्त। कच्ची गैस 99.999% से कम नहीं होती। ● अशुद्धियों O2, H2O, सीओ, सीओ 2, H2, N2, सीएच2 और एनएमएचसी को 1ppB / 10ppB तक गहराई से हटाना। ● डबल टॉवर वैकल्पिक सोखना उत्थान, एकल टॉवर कटैलिसीस, टर्मिनल गेट्टर सोखना, स्वचालित निरंतर संचालन। ● ईपी क्लास 316एल पॉलिश स्टेनलेस स्टील पाइप फिटिंग। ● 0.003 मीटर फिल्टर के साथ, निष्कासन दर 99.999999% /99.99999% तक पहुंच सकती है। ● सीमेंस पीएलसी को डीसीएस सिस्टम से जोड़ा जा सकता है। ● सुरक्षा अलार्म फ़ंक्शन उत्तम है। ● रिमोट क्लाउड सेवा उपलब्ध है। ● अति स्वच्छ वातावरण में उत्पादन और संयोजन। ● गैस क्षमता 10-20000nm3 /h. |  |
